仪器包括高精度光栅装置、密珠导轨的测量杆装置、高性能的高速采样等。

高度计采用高精度光栅作为测量基准，选用玻璃基体的增量式光栅尺，所以测量支持大测量范围，对震动和冲击不敏感，并具有确定的温度特性。

增量光栅尺的扫描方法为光电扫描，因此无机械接触也无磨损。电子设备对输出信号进行细分至纳米级的极小测量步距，从而确保一个信号周期内微小位置误差。

索尼高度计是放置于平台上进行单轴测量的仪器，理想的情况是花岗石平台。三丰测高仪是一种平台与测高仪结合在一起的全功能测量系统，功能全面的测高仪主要用于在线或批量检测，一台或一群机床上直接进行测量，特别是对于一些尺寸要求严格的工件在生产过程中的调试和抽样检测非常有用。