尘埃粒子计数器是一种利用光的散射原理进行尘粒计数的仪器，光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言，有一个基本规律，就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。

 

　　本仪器使用大气尘埃作为粉尘源，并与粒子计数器配合使用以检查高效过滤器的泄漏情况。打开风扇，然后使用本仪器扫描和检测距离高效过滤器表面25毫米的粒子。扫描速度为5mm-30mm/s，检测到的0.5μm颗粒数不超过3500个/m3。标准为100级，样品量应符合5.66l国家标准。可满足不同用户的需求，在原有技术的基础上，改善了数据存储空间，整体不锈钢外壳，报警装置，可同时计数六种粒径，USB数据连接接口，内置打印机，配套三脚架，具有更多功能，测量精度高，速度快，操作简单等特点，一次采样就可以同时测量得到各种尺寸的尘埃颗粒数。

 

　　洁净室过滤器检漏用尘埃粒子计数器方法的一般规定：

 

　　1、经过测试的过滤器必须已经测量过风量，并且在设计风速的80％到120％之间运行。

 

　　2、在测试过的HEPA过滤器的迎风侧测得的大气尘埃颗粒数量应大于或等于0.5μm颗粒，其浓度必须大于或等于3.5×`10^4'颗粒/L;如果检测到超高效过滤器，则以大于或等于0.1μm的颗粒为准，并且浓度必须大于或等于3.5×`10^6'-3.5×`10^7'颗粒/L。

 

　　3、如果迎风侧的浓度不满足上述要求，则应引入未过滤的空气。如果不符合要求，则不应使用该方法进行泄漏检测。

 

　　4、使用本仪器进行检漏时，将采样口放置在距要检查的过滤器表面2-3cm的距离处，并以5-20mm/s的速度移动以扫描整个样品测试过的过滤器的截面，头胶和安装框架。